您當前位置：首頁 > 申請專利 > 行業(yè)新聞 > 國產光刻機第一股！華卓精科科創(chuàng)板過會，與清華共享專利
國產光刻機第一股！華卓精科科創(chuàng)板過會，與清華共享專利
日期：2021-09-18 11:30:32
點擊：
今天，北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱“華卓精科“)于科創(chuàng)板成功過會。華卓精科主營業(yè)務為超精密測控設備，產品包括精密運動系統(tǒng)、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學、醫(yī)療等行業(yè)。
光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產的企業(yè)，也是國內光刻機龍頭上海微電子的供應商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節(jié)點的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。
今年7月29日，華卓精科的上市委會議結果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關其光刻機雙工件臺的產業(yè)化前景、其技術研發(fā)是否依賴清華大學、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項。
報告期內，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。
本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產品創(chuàng)新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發(fā)4個項目。
推薦閱讀：
國產光刻機第一股！華卓精科科創(chuàng)板過會，與清華共享專利
日期：2021-09-18 11:30:32
點擊：
今天，北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱“華卓精科“)于科創(chuàng)板成功過會。華卓精科主營業(yè)務為超精密測控設備，產品包括精密運動系統(tǒng)、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學、醫(yī)療等行業(yè)。
光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產的企業(yè)，也是國內光刻機龍頭上海微電子的供應商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節(jié)點的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。
今年7月29日，華卓精科的上市委會議結果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關其光刻機雙工件臺的產業(yè)化前景、其技術研發(fā)是否依賴清華大學、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項。
報告期內，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。
本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產品創(chuàng)新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發(fā)4個項目。
推薦閱讀：
.png)
.png)
.png)
