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國產光刻機第一股！華卓精科科創板過會，與清華共享專利
日期：2021-09-18 11:30:32
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今天，北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱“華卓精科“)于科創板成功過會。華卓精科主營業務為超精密測控設備，產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學、醫療等行業。
光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內首家自主研發并實現光刻機雙工件臺商業化生產的企業，也是國內光刻機龍頭上海微電子的供應商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節點的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。
今年7月29日，華卓精科的上市委會議結果為暫緩審議，上市委現場詢問了有關其光刻機雙工件臺的產業化前景、其技術研發是否依賴清華大學、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項。
報告期內，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。
本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發制造、超精密測控產品長三角創新與研發中心、集成電路裝備與零部件產品創新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發4個項目。
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國產光刻機第一股！華卓精科科創板過會，與清華共享專利
日期：2021-09-18 11:30:32
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今天，北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱“華卓精科“)于科創板成功過會。華卓精科主營業務為超精密測控設備，產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學、醫療等行業。
光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內首家自主研發并實現光刻機雙工件臺商業化生產的企業，也是國內光刻機龍頭上海微電子的供應商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節點的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。
今年7月29日，華卓精科的上市委會議結果為暫緩審議，上市委現場詢問了有關其光刻機雙工件臺的產業化前景、其技術研發是否依賴清華大學、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項。
報告期內，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。
本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發制造、超精密測控產品長三角創新與研發中心、集成電路裝備與零部件產品創新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發4個項目。
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